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J-GLOBAL ID：200903097673688275

ダイヤモンド層を含む多層膜構造、それを有する光デバイス、およびその作製方法

Inventor： 尾内 敏彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 加藤 一男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997051076
Publication number (International publication number)：1998233558
Application date： Feb. 19, 1997
Publication date： Sep. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】熱伝導性が高いダイヤモンド層を含む多層膜反射ミラーなどの多層膜構造、それを有する光デバイス、およびその作製方法である。【解決手段】多層膜構造は、ヘテロエピタキシャル成長してなるダイヤモンド層部を少なくとも部分的に含むダイヤモンド層2を有する。ダイヤモンド層2を第1層として有し、その上に他の材料の薄膜3とダイヤモンド層2を交互に成長して成る。多層膜構造は多層膜反射ミラーなどとして形成されて、面発光型半導体レーザなどの光デバイス中に用いられる。

Claim (excerpt)：

ヘテロエピタキシャル成長してなるダイヤモンド層部を少なくとも部分的に含むダイヤモンド層を有することを特徴とする多層膜構造。

IPC (5)：

H01S 3/18 ,  C23C 16/26 ,  C30B 29/04 ,  C30B 29/06 504 ,  G02B 5/08

FI (6)：

H01S 3/18 ,  C23C 16/26 ,  C30B 29/04 D ,  C30B 29/04 P ,  C30B 29/06 504 F ,  G02B 5/08 A