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J-GLOBAL ID：200903097674771168
希ガスの精製方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993196865
Publication number (International publication number)：1995033417
Application date： Jul. 14, 1993
Publication date： Feb. 03, 1995
Summary：
【要約】【目的】 不純物としてハロゲン化合物および窒素などを含む希ガスを除去能力の優れたカルシウム、マグネシウムのゲッター材を用いて精製する際に、問題となる差圧の増大を防止し、希ガスを長時間連続的に、しかも、高純度に精製できる方法を開発する。【構成】 希ガスをジルコニウムまたはチタン系のゲッター材と加熱下に接触させ、続いてカルシウムまたはマグネシウムのゲッター材と接触させる。
Claim (excerpt)：
不純物として少なくともハロゲン化合物および窒素を含む希ガスから不純物を除去し、高純度希ガスを得る希ガスの精製方法において、希ガスをジルコニウムまたはチタン系のゲッター材と加熱下に接触させ、次いで、カルシウムまたはマグネシウムのゲッター材と加熱下に接触させることを特徴とする希ガスの精製方法。
Patent cited by the Patent：
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