Pat

J-GLOBAL ID：200903097679603140

アンモニア-過酸化水素混合廃液の処理装置及びこれを用いる処理方法

Inventor： 大河内 徹
Applicant, Patent owner： オルガノ株式会社
Agent (1)： 赤塚 賢次 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998095867
Publication number (International publication number)：1999290870
Application date： Apr. 08, 1998
Publication date： Oct. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 半導体製造工場から流出される、高濃度の過酸化水素及びアンモニアを含む混合廃液を処理する方法において、前段の過酸化水素分解工程では別途の薬剤を添加することなく安定して過酸化水素濃度を低濃度化する一方、後段のアンモニア処理工程では再利用に適する高濃度、高純度のアンモニアを回収する処理装置及び方法を提供すること。【解決手段】 マンガン化合物を活性成分とする過酸化水素分解用触媒を充填した過酸化水素分解塔11に、半導体製造工程から排出されるアンモニア-過酸化水素混合廃液を通水し、過酸化水素濃度の低下した一次処理水を得る工程と、次いで、活性炭を充填した活性炭充填塔12に一次処理水を通水し、過酸化水素が更に低下した処理水を得る工程と、次いで前記処理水をアンモニア濃縮精製塔13に通水し、アンモニアを濃縮して回収する工程と、を有する混合廃液処理方法によれば、前段では別途の薬剤を添加することなく安定して過酸化水素濃度を低濃度化する一方、後段では再利用に適する高濃度、高純度のアンモニアを回収することができる。

Claim (excerpt)：

マンガン化合物を活性成分とする過酸化水素分解用触媒を充填した過酸化水素分解塔と、該過酸化水素分解塔の後段に位置するアンモニア濃縮精製塔と、を設けたことを特徴とするアンモニア-過酸化水素混合廃液の処理装置。

IPC (5)：

C02F 1/70 ,  B01J 23/34 ,  C02F 1/04 ,  C02F 1/28 ,  C02F 1/58

FI (6)：

C02F 1/70 Z ,  B01J 23/34 M ,  C02F 1/04 C ,  C02F 1/28 D ,  C02F 1/58 H ,  C02F 1/58 P