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J-GLOBAL ID：200903097681896715
マスクの検査方法及びマスクの検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
有我 軍一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994274700
Publication number (International publication number)：1996137092
Application date： Nov. 09, 1994
Publication date： May. 31, 1996
Summary：
【要約】【目的】 遮光部分及び透明部分のみならずハーフトーン部を検出して、検出したハーフトーン部と検査用データとの比較評価を行うことができるとともに、転写に影響しない領域の欠陥を検出しないようにして、欠陥検査を効率良く行うことができる。【構成】 マスク上のパターンを、光透過部分と、該光透過部分よりも光の透過率の低い低光透過率部分と、該光透過部分の光透過率と該低光透過率部分の光透過率の間の光透過率を有する中間光透過率部分の光透過率毎に3階調以上に分類して、画像処理を行い、この画像処理を行った3階調以上に分類した前記パターンのデータと、被検査プレート及び設計データから変換されるとともに、前記パターンの光透過率により3階調以上に分類した検査用データとを比較して検査する。
Claim (excerpt)：
マスク上のパターンを、光透過部分と、該光透過部分よりも光透過率の低い低光透過率部分と、該光透過部分の光透過率と該低光透過率部分の光透過率の間の光透過率を有する中間光透過率部分の光透過率毎に3階調以上に分類して、画像処理を行い、この画像処理を行った3階調以上に分類した前記パターンのデータと、被検査プレート及び設計データから変換されるとともに、前記パターンの光透過率により3階調以上に分類した検査用データとを比較して検査することを特徴とするマスクの検査方法。
IPC (4)：
G03F 1/08
, G01B 11/30
, H01L 21/027
, H01L 21/66
