Pat

J-GLOBAL ID：200903097693651408

蒸着可能な化合物、MOCVD法の際に使用するための混合物、蒸着可能な化合物の製造法およびアルカリ土類金属を含有する層の析出法

Inventor： ギュンター デライン
Applicant, Patent owner： ゾルファイ バリウム ストロンチウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992059882
Publication number (International publication number)：1993239066
Application date： Mar. 17, 1992
Publication date： Sep. 17, 1993
Summary：

【要約】【目的】 MOCVD(メタルオーガニックケミカルベイパーデポジション)法の際に使用に関して有利な性質を有するアルカリ土類金属ヘプタンジオネート化合物。【構成】 1H-NMR-スペクトル中で水のプロトンの信号が検出不可能で、一般式:M(R)2〔式中、Mはカルシウム、ストロンチウムまたはバリウムおよびRは2,6-ジメチル-3,5-ヘプタンジオネート、2,2,6-トリメチル-3,5-ヘプタンジオネートまたは2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオネートを表す〕で示される新規の蒸着可能な化合物。

Claim (excerpt)：

一般式I:M(R)2〔式中、Mはカルシウム、ストロンチウムまたはバリウムを表し、Rは2,6-ジメチル-3,5-ヘプタンジオネート、2,2,6-トリメチル-3,5-ヘプタンジオネートまたは2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオネートを表す〕で示される蒸着可能な化合物において、1H-NMR-スペクトル中で水のプロトンの信号が検出不可能であることを特徴とする、蒸着可能な化合物。

IPC (5)：

C07F 3/00 ,  C07C 49/92 ,  C07F 3/04 ,  C23C 14/12 ,  C23C 16/18