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J-GLOBAL ID：200903097701920707
レーザー超音波検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
半田 昌男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995115169
Publication number (International publication number)：1996285820
Application date： Apr. 17, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：
【要約】【目的】 ドップラーシフト検出手段の感度及び光電変換後のS/N比が向上し、超音波エコーの検出が容易となるレーザー超音波検査装置を提供する。【構成】 励起用レーザー光11は、強度分布均一化部32に入射し、これを通過して空間強度分布が均一なレーザー光11aとされ、試料15の表面領域33に照射される。これにより、試料には広帯域の超音波が発生する。また、均一な励起用レーザー光によって、領域33は鏡面状態となる。プローブ用レーザー光34を、励起用レーザー光11aが照射されている表面領域33に照射すると、この領域は鏡面状態となっているため、高い反射率で反射される。したがって、反射される際に超音波エコーによりドップラーシフトを受けたプローブ用レーザー光がドップラーシフト検出部31に入ると、高い感度でこのドップラーシフトを検出できる。
Claim (excerpt)：
検査対象である試料の表面に励起用レーザー光を照射して前記試料内に超音波を励起させる励起用レーザー光照射手段と、超音波検出用のプローブ光を、前記励起用レーザー光が照射されている前記試料の部位に照射するプローブ光照射手段と、前記試料でプローブ光が反射される際に受けるドップラーシフトを検出して光強度に変換するドップラーシフト検出手段と、を具備することを特徴とするレーザー超音波検査装置。
IPC (5)：
G01N 29/00 501
, G01B 11/00
, G01B 17/00
, G01N 21/00
, G01N 29/04
G01N 29/00 501
, G01B 11/00 G
, G01B 17/00 Z
, G01N 21/00 B
, G01N 29/04
