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J-GLOBAL ID：200903097727649238

走査形電子顕微鏡

Inventor： 佐藤 貢 ,  高岡 修 ,  戸所 秀男 ,  後藤 真知夫 ,  多持 隆一郎 ,  鈴木 猛夫 ,  酒井 克彦
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994110722
Publication number (International publication number)：1995320679
Application date： May. 25, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、試料表面に関する詳細かつ多面的な情報を得るのに好適な走査電子顕微鏡を提供することにある。【構成】上記目的を達成するために、本発明では対物レンズの上下に配置した各々の二次電子検出器の信号をそれぞれ画像メモリに記憶させる手段を設け、記憶された画像信号に対しそれぞれ必要な画像処理を行った後に、画像の重ね合わせを行う。

Claim (excerpt)：

一次電子線を細く絞って試料に照射するための集束レンズ系と、該一次電子線を試料上で二次元的に走査するための偏向器を具備し、最終段の対物レンズの上部(電子源側)および下部(試料側)にそれぞれ二次電子検出器を配置した走査形電子顕微鏡において、前記二次電子検出器の信号をそれぞれ記憶できる画像記憶メモリ(フレームメモリー)を具備し、電子ビーム走査によって得られる前記二次電子検出器の信号を前記画像メモリーに同時に取り込む手段を有することを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/22 502