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J-GLOBAL ID：200903097757495197

硫化モリブデンの付着方法

Inventor： テール デニス ジェラルド ,  ベリード-ゴンザレス ヴィクター ,  ハンプシャー ジョアンヌ ヘレン
Applicant, Patent owner： テール コーティングズ リミティッド
Agent (1)： 後藤 政喜 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997506431
Publication number (International publication number)：1999509580
Application date： Jul. 18, 1996
Publication date： Aug. 24, 1999
Summary：

【要約】不平衡なマグネトロン-スパッター-イオン-プレーティング-システムであって、このシステム(10)は硫化金属(例えばMoS2)の第一ターゲット(18)をもつ第一マグネトロン(16)と、金属(例えばチタニウム)の第二ターゲット(22)をもつ第二のマグネトロン(20)をもつ。コーティングチャンバー内壁から水と硫化物の不純物を除去するために、前記金属ターゲットを、コーティング行程前のイオン洗浄工程において通電活性化する。金属原子は不純物を除去し、良好なコーティング、とくに低摩擦のMoS2コーティングを可能とする。多層コーティングのための装置も開示されている。形成された被膜は、低摩擦と、高付着力と、高耐久性をもつ。

Claim (excerpt)：

硫化金属の第一ターゲットと、金属の第二ターゲットを持つことを特徴とするスパッター-イオン-プレーティングシステム。

IPC (5)：

C23C 14/06 ,  C01G 39/06 ,  C23C 14/00 ,  C23C 14/34 ,  C23C 28/00

FI (5)：

C23C 14/06 D ,  C01G 39/06 ,  C23C 14/00 B ,  C23C 14/34 C ,  C23C 28/00 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 機械加工用工具
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-295508   Applicant：フイラブアーゲー