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J-GLOBAL ID:200903097764433962

感光性樹脂組成物、感光性シート及び金属配線基板の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 柳川 泰男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996331481
Publication number (International publication number):1998161309
Application date: Nov. 26, 1996
Publication date: Jun. 19, 1998
Summary:
【要約】【課題】 金属層付き基板の金属層に対する接着性が優れた、特に光硬化後現像時における接着性が優れた、感光性樹脂層を与えることができる感光性樹脂組成物、感光性シート及び感光性シートを用いた金属配線基板の製造方法を提供すること。【解決手段】 バインダーポリマー、光の照射によって付加重合することのできるエチレン性不飽和二重結合含有モノマー及び光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物であって、バインダーポリマーが、14〜30重量部のメタクリル酸、20〜70重量部のメチルメタクリレート、3〜30重量部のエチルアクリレート及び3〜30重量部のベンジル(メタ)アクリレートを共重合して得られ、かつ50〜120°Cのガラス転移温度及び3万〜20万の重量平均分子量を有する共重合体である感光性樹脂組成物;透明支持体上に該感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層が設けられた感光性シート;及び該感光性シートを用いた金属配線基板の製造方法。
Claim (excerpt):
バインダーポリマー、光の照射によって付加重合することのできるエチレン性不飽和二重結合含有モノマー及び光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物であって、該バインダーポリマーが、14〜30重量部のメタクリル酸、20〜70重量部のメチルメタクリレート、3〜30重量部のエチルアクリレート及び3〜30重量部のベンジル(メタ)アクリレートを共重合して得られ、かつ50〜120°Cのガラス転移温度及び3万〜20万の重量平均分子量を有する共重合体であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3):
G03F 7/033 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/06
FI (4):
G03F 7/033 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/06 J

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