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J-GLOBAL ID：200903097797644373

レーザ顕微鏡

Inventor： 平井 茂 ,  井上 享 ,  小沢 一雅
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 光石 俊郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991223133
Publication number (International publication number)：1993060978
Application date： Sep. 03, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、測定領域の確認ができると共に、所望測定領域へのアクセス時間の短縮化を図るレーザ顕微鏡を提供する。【構成】 レーザ光源11からのレーザ光Lを一方向に走査した走査光LSとするAO素子13と、この一方向の走査光LS の被測定物Rでの反射光RLS を受光する一次元CCDイメージセンサ17とを有するレーザ顕微鏡であって、被測定物Rにレーザ光Lの波長以外の波長を有する光LW を照射する光源部19と、この光の被測定物Rでの反射散乱光RLW を受光する二次元CCDイメージセンサ20とを具備してなり、レーザ光の波長以外の波長を有する光を被測定物に照射して二次元の画像を予め測定し、所望測定領域のみのレーザ顕微鏡による詳細な測定ができ、測定時間の短縮化を図ることができる。

Claim (excerpt)：

レーザ光源からのレーザ光を一方向に走査した走査光とするか又は一方向に延びるスリット光とするレーザ光調光手段と、この一方向の走査光又はスリット光の被測定物での反射光を受光する一次元受光部とを有するレーザ顕微鏡であって、被測定物にレーザ光の波長以外の波長を有する光を照射する光源部と、この光の被測定物での反射散乱光を受光する二次元受光部とを具備することを特徴とするレーザ顕微鏡。