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J-GLOBAL ID：200903097803984904

圧電性薄膜、その製造方法、圧電体素子およびインクジェットプリンタヘッド

Inventor： 角 浩二
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997091207
Publication number (International publication number)：1998287468
Application date： Apr. 09, 1997
Publication date： Oct. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】 高い圧電d定数を維持しうる圧電性薄膜、圧電体素子およびインクジェットプリンタヘッドを提供する。【解決手段】 ニオブ(Nb)が添加された圧電性物質を含む第1層100に、圧電性物質を含む第2層200を積層して構成された圧電性薄膜である。ニオブの添加により、薄膜全体の特性が向上する。

Claim (excerpt)：

ニオブ(Nb)が添加された圧電性物質を含む第1層に、圧電性物質を含む第2層を積層して構成された圧電性薄膜。

IPC (7)：

C04B 35/49 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24

FI (7)：

C04B 35/49 B ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  C04B 35/49 R ,  H01L 41/08 S ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 A