Pat

J-GLOBAL ID：200903097812530819

照明装置、露光装置及び露光方法

Inventor： 岩永 武彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001178438
Publication number (International publication number)：2002373839
Application date： Jun. 13, 2001
Publication date： Dec. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 移動可能なステージ加減速中の露光においても、照射むらがなく、被照射面を高精度に走査照射することを可能にし、高スループットを実現する。【解決手段】 可動のステージ31,35が加減速している際にも露光を行う走査型露光装置に用いられ、照度分布を時間的に変化させるための光学部材として回転可能なくさび型プリズム21と該プリズム21を駆動するプリズム駆動部101とを含む照度分布可変手段が、前記照度分布の時間的変化をステージ31,35の駆動パターンに対応して変化させる機能を有するものであって、ステージ31,35の加減速パターンに対応した照度分布を測定し、この測定結果に基づき、くさび型プリズム21の駆動パターンを決定する。

Claim (excerpt)：

可動のステージが加減速している際にも露光を行う走査型露光装置用の照明装置において、前記露光の為の照明系の照度分布を時間的に変化させる照度分布可変手段を有し、該照度分布可変手段は前記照度分布の時間的変化を前記ステージの駆動パターンに対応して変化させる機能を有することを特徴とする照明装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 518

F-Term (3)：

5F046BA05 ,  5F046CC15 ,  5F046DA02