Pat

J-GLOBAL ID：200903097814097306

マンガンコバルト酸化物薄膜の形成方法

Inventor： 米沢 政 ,  山中 清二
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 須田 正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992018313
Publication number (International publication number)：1993186227
Application date： Jan. 06, 1992
Publication date： Jul. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 簡易な操作により緻密で広範囲に均質なマンガンコバルト酸化物薄膜を安価に形成する。【構成】 硝酸マンガン等のマンガン化合物と硝酸コバルト等のコバルト化合物をエチレングリコール等の多価アルコールに溶解してアルコール溶液を調製する。このアルコール溶液にグリコール酸、乳酸、ヒドロアクリル酸、グリセリン酸、りんご酸、酒石酸、クエン酸、サリチル酸等のオキシ酸を添加混合した後、好ましくはこの混合液にメタノール等のアルコールを添加混合してコーティング溶液を調製する。このコ-ティング溶液を耐熱性のある基体の表面に塗布して塗膜を形成する。塗膜を形成した基体を乾燥熱処理してマンガンとコバルトの複合酸化物前駆体を生成し、この複合酸化物前駆体を600〜1000°Cの温度で焼成してマンガンコバルト酸化物薄膜を得る。

Claim (excerpt)：

マンガンの硝酸塩、酢酸塩、炭酸塩及びハロゲン酸塩からなる群より選ばれた1種又は2種以上のマンガン化合物とコバルトの硝酸塩、酢酸塩、炭酸塩及びハロゲン酸塩からなる群より選ばれた1種又は2種以上のコバルト化合物をエチレングリコール、ジエチレングリコール及びグリセリンからなる群より選ばれた1種又は2種以上の多価アルコールに溶解してアルコール溶液を調製し、前記アルコール溶液にグリコール酸、乳酸、ヒドロアクリル酸、グリセリン酸、りんご酸、酒石酸、クエン酸及びサリチル酸からなる群より選ばれた1種又は2種以上のオキシ酸を添加混合してコーティング溶液を調製し、前記コ-ティング溶液を耐熱性のある基体の表面に塗布して塗膜を形成し、前記塗膜を形成した基体を乾燥熱処理してマンガンとコバルトの複合酸化物前駆体を生成し、前記複合酸化物前駆体を600〜1000°Cの温度で焼成するマンガンコバルト酸化物薄膜の形成方法。