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J-GLOBAL ID：200903097826597797

焦点位置検出装置

Inventor： 米沢 康男
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992312546
Publication number (International publication number)：1994066561
Application date： Nov. 24, 1992
Publication date： Mar. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 反射率分布が均一でない被検面の位置検出を正確に行うこと。【構成】 対物レンズ(6) の光軸(Ax2) を含む面により分割された一方の領域を介して所定のパターンを基板表面(7a)に投射して、この表面からの反射光を他方の領域を介して検出器(8) にて受光する焦点位置検出装置において、対物レンズから検出器へ向かう光路中に、補助光学系(10)を設けて、検出器上での結像倍率を変える。

Claim (excerpt)：

対物レンズの光軸を含む面を境に2分される領域のうち、一方の領域を介して所定のパターンを基板の表面に投射し、前記表面から反射される前記パターンの像を他方の領域を介して検出器にて光電的に検出して、前記基板の位置を検出する焦点位置検出装置において、前記対物レンズから前記検出器へ向かう光路中に、前記検出器上に結像される前記パターンの像の倍率を変化させる補助光学系を設けることを特徴とする焦点位置検出装置。

IPC (3)：

G01C 3/06 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭57-211109
  
• 特開昭60-118814