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J-GLOBAL ID：200903097888162738

共焦点顕微鏡装置

Inventor： 大槻 真也 ,  田名網 健雄
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 東野 博文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997352698
Publication number (International publication number)：1999183803
Application date： Dec. 22, 1997
Publication date： Jul. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】ダイナミックレンジを容易に拡大することのできる共焦点顕微鏡装置を提供する。【解決手段】基板の微小開口部を通過した照射光を試料に対して走査し、試料からの反射光を受光して試料のスライス画像を得ると共に、相対的に試料を光軸方向に移動させて前記スライス画像を得ることができるように構成された共焦点顕微鏡装置において、試料からの反射光の光量に応じて測定光量あるいはスライス画像の信号レベルを変化させる制御手段と、測定光量あるいはスライス画像の信号レベルの変化量を重み付けして試料の光軸方向の相対的な各移動位置におけるスライス画像を画素ごとにピークサーチし、試料の三次元画像または焦点深度の深い画像を得る画像再構築手段を備える。

Claim (excerpt)：

多数の微小開口部を持つ基板を回転させ、この基板の微小開口部を通過した照射光を試料に対して走査し、試料からの反射光を受光して試料のスライス画像を得ると共に、相対的に試料を光軸方向に移動させて前記スライス画像を得ることができるように構成された共焦点顕微鏡装置において、前記試料からの反射光の光量に応じて測定光量あるいはスライス画像の信号レベルを変化させる制御手段と、前記測定光量あるいはスライス画像の信号レベルの変化量を重み付けして前記試料の光軸方向の相対的な各移動位置におけるスライス画像を画素ごとにピークサーチし、試料の三次元画像または焦点深度の深い画像を得る画像再構築手段を具備したことを特徴とする共焦点顕微鏡装置。

IPC (4)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/24 ,  G02B 21/06 ,  H04N 13/04

FI (4)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/24 K ,  G02B 21/06 ,  H04N 13/04