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J-GLOBAL ID：200903097922578507

昇華性材料片の蒸発槽

Inventor： 寺田 誠 ,  川福 純司 ,  加藤 淳 ,  木原 敦司 ,  今村 幸嗣
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所 ,  株式会社富士インダストリーズ
Agent (1)： 植木 久一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991221057
Publication number (International publication number)：1993039565
Application date： Aug. 05, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は真空蒸着めっき法に使用される昇華性材料片の蒸発槽に係り、蒸発する昇華性材料片を適確な位置へ連続補給でき、均一で高品質の蒸着めっき層を形成することを目的とするものである。【構成】 蒸発槽の底部12Aは側壁部に対して昇降自在に構成され、該蒸発槽の側壁部は冷却用媒体通路13aが形成され、蒸発槽の上方開口部には横方向回転軸を有する回転突落し部材(ロール11,11)が配設されてなるものである。

Claim (excerpt)：

電子ビームを照射することにより昇華性材料片を加熱蒸発させて真空蒸着を行なう為の昇華性材料片の蒸発槽であって、該蒸発槽の底部は蒸発槽側壁面に沿って昇降自在に構成されると共に、該蒸発槽の側壁部には冷却媒体用通路が形成され、さらに該蒸発槽の側壁上方開口部の適所には横方向回転軸を有する回転突落し部材が設けられてなることを特徴とする昇華性材料片の蒸発槽。

IPC (3)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/30 ,  C23C 14/56