3次元形状計測装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：倉田政彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998014622
Publication number (International publication number)：1999211443
Application date： Jan. 27, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】物体を移動させて位相シフト法により物体の高さを測定する3次元形状計測装置を提供すると共に、物体の移動に伴う照明の入射角度の変化による死角を防止し、精度を維持する。【解決手段】移動する測定物体1の3次元形状を計測する装置において、測定物体1の移動方向に所定の周期の正弦波パターン状の光強度分布を有する略平行光な照明を測定物体1に上方から照射する照明手段(光源3、レンズ4、フィルタ5)と、測定物体1を撮像する撮像手段(カメラ6、レンズ7)と、測定物体1が少なくとも4通りの位相(好ましくは位相0、π/2、π、3π/2)に相当する距離移動する毎に撮像された画像を格納する画像メモリと、画像メモリ内の画像から位相シフト法により高さを求める演算手段とを設けた。

Claim (excerpt)：

移動する測定物体の3次元形状を計測する装置において、測定物体の移動方向に所定の周期の正弦波パターン状の光強度分布を有する略平行光の照明を測定物体に上方から照射する照明手段と、測定物体を撮像する撮像手段と、測定物体が少なくとも4通りの位相に相当する距離移動する毎に撮像された画像を格納する画像メモリと、画像メモリ内の画像から位相シフト法により高さを求める演算手段とを具備することを特徴とする3次元形状計測装置。

IPC (3)：

G01B 11/30 , G01B 11/24 , G01B 21/00

FI (5)：

G01B 11/30 C , G01B 11/24 G , G01B 11/24 H , G01B 11/24 M , G01B 21/00 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-098111
物体の三次元形状計測方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-192452 Applicant：富士ファコム制御株式会社, 富士電機株式会社
特開平4-098111

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