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J-GLOBAL ID:200903097964714516
疵検査装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
和田 成則
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991347247
Publication number (International publication number):1993322791
Application date: Dec. 27, 1991
Publication date: Dec. 07, 1993
Summary:
【要約】【目的】 疵の目視検査を行うオペレータの負担を軽減すると共に、正確な疵の情報を検査結果として表示する。【構成】 表面及び裏面検査部1a,1bのイメージセンサからの検出信号に基づき疵の検出データが表面及び裏面検出部30a,30bにより作成される。この検出データは、長さ判別部31a,31bにより疵の長さに基づいて判別された検出データとなってCRT21a,21bに表示されると共に、検出コントロール部32にロギングされる。また、オペレータがタッチパネル22a,22bを操作することにより目視データが入力コントロール部33にロギングされると共に、この目視データと上記検出データとが監視部コントローラ40により比較される。この比較結果が検査結果として上記CRT21a,21bに表示されると共に、検査表印字部41が検査表に検査結果を印字する。
Claim (excerpt):
被検査物の被検査面に存在する疵をセンサが検出すると共に、このセンサからの検出信号に基づき検出部が上記疵の検出データを作成し、この検出データをCRTが疵の目視検査を行うオペレータに対して表示する疵検査装置において、上記オペレータによる疵の目視検査結果を目視データとして出力する出力手段と、上記出力手段から出力される目視データと上記検出部で作成された検出データとを比較する比較手段と、上記比較手段による比較結果を表示する表示手段と、を具備することを特徴とする疵検査装置。
IPC (3):
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/89
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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特開昭60-207004
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特開昭61-012341
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