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J-GLOBAL ID：200903097988677581

加速度センサ

Inventor： ミヒャエル オッフェンベルク
Applicant, Patent owner： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995225443
Publication number (International publication number)：1996075782
Application date： Sep. 01, 1995
Publication date： Mar. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 容量における極めて小さな変化が検出される加速度センサを提供する。【構成】 複数の可動電極(4)を持つ加速度センサが提案され、これは固定された電極(21)の第1グループが可動電極(4)の一方の側に位置され、そして固定された電極(22)の第2グループが可動電極(4)の他の側に配置されているものである。第1グループの固定された電極(21)は、接続用ビーム(10)からつられ、そして後者によって電気的に並列に接続されている。第2グループの固定された電極(22)は、基板(1)上に個別に固定され、そして接続用導体トラック(12)によって電気的に並列に接続されている。

Claim (excerpt)：

加速度によって基板(1)に対して移動することができる複数の可動電極(4)、および固定された電極の第1(21)および第2(22)グループとを持ち、固定された電極(21、22)が可動電極(3)と共にプレートコンデンサを形成し、そしてこの場合第グループの固定された電極(21)が可動電極(4)の一方の側に配置され、そして第2グループの固定された電極(22)が可動電極(4)の他方の側に配置されている加速度センサにおいて、第1グループの固定された電極(21)が基板(1)上に固定された接続用ビーム(10)に懸架されており、そして第2グループの固定された電極(22)が基板(1)上に個別に固定されていることを特徴とする、加速度センサ。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特表平4-504003
  

Cited by examiner (3)

• 特表平4-504003
  
• 特表平4-504003
  
• 特表平4-504003