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J-GLOBAL ID：200903098006472821
珪素又は珪素酸化物の溶蝕方法及び溶蝕装置ならびに不純物分析用試料の調製方法及び装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三好 秀和 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994150759
Publication number (International publication number)：1996017809
Application date： Jul. 01, 1994
Publication date： Jan. 19, 1996
Summary：
【要約】【目的】 多量の産業廃棄物や環境汚染を伴わない珪素の溶蝕方法及び装置を提供する。又、試料以外に起因する不純物による影響のない不純物分析を可能にする珪素の溶蝕方法及び装置を提供する【構成】 溶蝕方法及び装置においては、弗化水素を用いて珪素又は珪素酸化物から珪弗化水素酸を生成することによって該珪素又は珪素酸化物を溶蝕し、生成した珪弗化水素酸を収集し、収集した珪弗化水素酸を水と共に酸化雰囲気下でプラズマ又は高エネルギ光照射を用いて分解して弗化水素を再生し、再生した弗化水素を回収して返還供給する。【効果】 シリコン材の溶蝕に必要な弗化水素の使用量を減少させ、珪弗化水素酸又は四弗化珪素の処理を原理的に不要とすることができる。また、シリコン材の微量分析の際の弗化水素を用いた溶蝕において弗化水素に起因する汚染を最小限にとどめることができ、精度の高い分析を可能にする。
Claim (excerpt)：
弗化水素を用いて珪素又は珪素酸化物から珪弗化水素酸を生成することによって該珪素又は珪素酸化物を溶蝕する溶蝕工程と、生成した珪弗化水素酸を収集する収集工程と、収集した珪弗化水素酸を水と共に酸化雰囲気下でプラズマ又は高エネルギ光照射を用いて分解して弗化水素を再生する再生工程と、再生した弗化水素を回収して前記溶蝕工程に供給する返還工程とを備える、珪素又は珪素酸化物の溶蝕方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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