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J-GLOBAL ID：200903098008953592
真空チャック
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993188860
Publication number (International publication number)：1995136885
Application date： Jun. 30, 1993
Publication date： May. 30, 1995
Summary：
【要約】【目的】 チャック本体の表面平坦度に依存せずに被保持基板を変形を招くことなく確実に吸着、保持することが可能で、しかも軽量化を図ることが可能な真空チャックを提供しようとするものである。【構成】 吸引通路12を有するチャック本体11と、前記本体11上に前記吸引通路12と連通するように取付けられた吸着パッド13とを具備し、前記吸引パッド13は、柔軟性を有する筒体19と、この筒体19内に配置され、先端が前記筒体の開口端より低くなるように位置された突起部15と、前記吸引通路12と連通され、前記筒体19の開口端に被保持基板が載置された時に前記筒体19内の空間を吸引するための排気部17とを備えた構成を有することを特徴としている。
Claim (excerpt)：
吸引通路を有するチャック本体と、前記本体上に前記吸引通路と連通するように取付けられた吸着パッドとを具備し、前記吸着パッドは、柔軟性を有する筒体と、この筒体内に配置され、先端が前記筒体の開口端より低くなるように位置された突起部と、前記吸引通路と連通され、前記筒体の開口端に被保持基板が載置された時に前記筒体内の空間を吸引するための排気部とを備えた構成を有することを特徴とする真空チャック。
IPC (3)：
B23Q 3/08
, H01L 21/02
, H01L 21/68
