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J-GLOBAL ID：200903098043183198

プローブ装置およびその製造方法、ならびにメディア移動型メモリ装置

Inventor： 易 幼文
Applicant, Patent owner： ヒューレット・パッカード・カンパニー
Agent (1)： 久保田 千賀志 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996130870
Publication number (International publication number)：1997293283
Application date： Apr. 25, 1996
Publication date： Nov. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】 微小針の高さを高くせず、かつプローブアーム先端の動作ストロークを小さくできる、プローブ装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】 電気回路2と、先端に微小針35が形成されたカンチレバー形アーム31a〜31cを持つプローブ3とからなるプローブ装置100であって、電気回路2の配線が形成され、プローブ3は微小針35をプローブ対象に対して近接または接触、および乖離させるためのプローブ電極31a,31c,4を有しかつ電気回路2の配線よりもプローブ対象に近い位置に形成され、アーム31a〜31cが金属により単層に形成され、たことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

電気回路と、先端に微小針が形成されたカンチレバー形アームを持つプローブとからなるプローブ装置であって、前記電気回路の配線が形成され、前記プローブは、前記微小針をプローブ対象に対して近接または接触、および乖離させるためのプローブ電極を有し、かつ前記電気回路の配線よりもプローブ対象に近い位置に形成され、前記アームが金属により単層に形成され、たことを特徴とするプローブ装置。

IPC (3)：

G11B 9/00 ,  G01N 37/00 ,  G01R 31/00

FI (3)：

G11B 9/00 ,  G01N 37/00 A ,  G01R 31/00