Pat
J-GLOBAL ID：200903098073338714
非鏡面基準表面をもつ周波数走査型干渉計
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004517913
Publication number (International publication number)：2006509998
Application date： Jun. 30, 2003
Publication date： Mar. 23, 2006
Summary：
拡散性基準表面を備えるように周波数走査型干渉計が改変される。照明システムが拡大する測定ビームをつくり、測定ビームの部分が被検物体表面及び拡散性基準表面から反射して、収斂経路上を像映システムに向かう。物体表面を基準表面に対して測定するために、重なり合う物体表面の像と基準表面の像の間の干渉パターンが複数の周波数で収集される。
Claim (excerpt)：
物体表面を基準表面と比較して、前記基準表面の公称幾何学的表面形状からの前記物体表面の偏差を測定する干渉計において、
対物ビームが前記物体表面に向かう途中で前記基準表面を通過しないように、別々の光経路に沿って、前記物体表面を前記対物ビームで照射し、前記基準表面を基準ビームで照射する照明システム、
前記物体表面上及び前記基準表面上の複数の対応する点から反射される前記対物ビームと前記基準ビームの間の経路長差に基づく干渉データを含む、前記対物ビームによる前記物体表面の像と前記基準ビームによる前記基準表面の像の重ね合せをつくる像映システム、
異なるビーム周波数を含む範囲にわたって前記干渉データがつくられる前記対物ビーム及び前記基準ビームの周波数を変える周波数調整器、
前記干渉データが前記ビーム周波数の前記変化の結果として増加的干渉条件及び減殺的干渉条件により変化しているときに、前記物体表面の像と前記基準表面の像の前記重ね合せ内の前記複数の対応する点から前記干渉データを収集するデータ収集システム、及び
ビーム周波数の前記変化の関数としての前記干渉データの前記変化を前記物体表面上及び前記基準表面上の前記複数の対応する点からの前記対物ビームと前記基準ビームの間の前記経路長差の尺度に変換し、前記物体表面上及び前記基準表面上の前記複数の対応する点からの前記対物ビームと前記基準ビームの間の前記経路長差を前記基準表面の前記公称幾何学的表面形状からの前記物体表面の偏差の尺度に変換するプロセッサ、
を備え、
前記基準表面が、前記像映システムによる前記基準表面の前記像に寄与する前記反射される基準ビームの光線を複数の異なる角度で散乱させる実質的に拡散性の表面である、
ことを特徴とする干渉計。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (27)：
2F064AA09
, 2F064EE02
, 2F064FF01
, 2F064GG22
, 2F064GG51
, 2F064GG55
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ01
, 2F064JJ15
, 2F065AA51
, 2F065FF52
, 2F065GG06
, 2F065GG23
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL09
, 2F065LL24
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2F065QQ16
, 2F065QQ25
, 2F065QQ33
, 2F065QQ41
, 2F065QQ42
