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J-GLOBAL ID：200903098091293310

レーザ露光システム

Inventor： 岡田 淳一郎 ,  山本 吉彦
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992096335
Publication number (International publication number)：1993291107
Application date： Apr. 16, 1992
Publication date： Nov. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、露光生産性を向上できるとともに、低価格化を図ることができるレーザ露光システムを得ることを目的とする。【構成】 エキシマレーザ30のレーザ出力端には、レーザバス400が配設され、このレーザバス400内には、ビームスプリッタ32とミラー33とが配設されている。ステッパ101a(101b)は、ミラー5a(5b)、コンデンサレンズ7a(7b)および対物レンズ8a(8b)からなる縮小投影光学系とシャッタ3a(3b)とで構成されている。ビームスプリッタ32とミラー33とで反射されるレーザビーム300を入射できる位置のそれぞれにステッパ101a、101bが配設され、制御装置12a、12bのシャッタ3a、3bの開閉制御によりレーザビーム300を取り込むように構成されている。

Claim (excerpt)：

レーザ装置と、前記レーザ装置のレーザ出力端に設置されたレーザバスと、前記レーザバス内に配設され、前記レーザ装置から出射されたレーザビームを透過および反射する光分配器と、前記レーザバス内に配設され、前記光分配器を透過した前記レーザビームを反射するミラーと、前記光分配器および前記ミラーで反射された前記レーザビームを入射する位置のそれぞれに配設され、シャッタと前記レーザビームで縮小投影する縮小投影光学系とから構成される複数の縮小投影形露光装置と、前記シャッタの開閉を制御し、前記縮小投影形露光装置への前記レーザビームの入射を制御する制御装置とを備えたことを特徴とするレーザ露光システム。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/101

FI (2)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 S