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J-GLOBAL ID:200903098109607253
クリーンブース
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
深見 久郎 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002063659
Publication number (International publication number):2003260678
Application date: Mar. 08, 2002
Publication date: Sep. 16, 2003
Summary:
【要約】【課題】 比較的小規模の生産設備において複数の種類の異なる反応釜にも、解体や再組立てをすることなく汎用的に用いることができる、クリーンブースを提供する。【解決手段】 清浄空気が導入され排気されるクリーンブースであって、枠部材4によって自立するように組み立てられた骨組構造、およびその骨組構造に支持されたシート3を有する本体ブース20と、本体ブースの側方に位置し、本体ブースに連結された突出ブース10とを備え、突出ブース10は、天井枠部材4a、およびその天井枠部材に懸架されたシート3aを有し、側面枠部材および底部枠部材を少なくとも前記突出ブースの前方先端側に有しない。
Claim (excerpt):
清浄空気が導入され排出されるクリーンブースであって、枠部材によって自立するように組み立てられた骨組構造、およびその骨組構造に支持されたシートを有する本体ブースと、前記本体ブースの側方に位置し、前記本体ブースと連結された突出ブースとを備え、前記突出ブースは、天井枠部材、およびその天井枠部材に支持されたシートを有し、側面枠部材および底部枠部材を少なくとも前記突出ブースの前方先端側に有しない、クリーンブース。
IPC (3):
B25H 1/20
, B01L 1/00
, F24F 7/06
FI (3):
B25H 1/20
, B01L 1/00 C
, F24F 7/06 C
F-Term (5):
3C012BF03
, 3L058BE02
, 3L058BF04
, 4G057AA07
, 4G057AA11
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