Pat

J-GLOBAL ID：200903098111886992

精密機器製造用研磨シート

Inventor： 田中 広志 ,  中島 正博
Applicant, Patent owner： 日本バイリーン株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996118396
Publication number (International publication number)：1997277175
Application date： Apr. 15, 1996
Publication date： Oct. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 表面に深い傷をつけることなく、基材表面の凹凸が等間隔となるように研磨することのできる精密機器製造用研磨シートを提供すること。【解決手段】 本発明の精密機器製造用研磨シートは、繊維径10μm以下の極細繊維を主体として絡合しており、しかも少なくとも片面に立毛を有する不織布を、少なくとも片面に有し、この不織布の立毛が表面に露出したものである。

Claim (excerpt)：

繊維径10μm以下の極細繊維を主体として絡合しており、しかも少なくとも片面に立毛を有する不織布を、少なくとも片面に有し、該不織布の立毛が表面に露出していることを特徴とする、精密機器製造用研磨シート。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭58-169557
  
• 特開昭59-015549