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J-GLOBAL ID：200903098117636190

基板の表面加工方法及び太陽電池

Inventor： 岡本 諭
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 野河 信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002113555
Publication number (International publication number)：2003309276
Application date： Apr. 16, 2002
Publication date： Oct. 31, 2003
Summary：

【要約】【課題】 低コストな多結晶シリコン基板を用いる太陽電池セルの製造工程において、低コストかつ高性能な表面反射防止構造の基板表面の製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】 エッチング液に対する耐エッチング力が膜内で分布をもつ耐エッチング膜を基板表面に形成し、耐エッチング膜を介してエッチングすることで基板表面に凹凸を形成することを特徴とする基板の表面加工方法により上記課題を解決する。

Claim (excerpt)：

エッチング液に対する耐エッチング力が膜内で分布をもつ耐エッチング膜を基板表面に形成し、耐エッチング膜を介してエッチングすることで基板表面に凹凸を形成することを特徴とする基板の表面加工方法。

F-Term (7)：

5F051AA03 ,  5F051CB21 ,  5F051DA03 ,  5F051GA04 ,  5F051GA15 ,  5F051GA16 ,  5F051HA01