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J-GLOBAL ID：200903098117854812
被検査物の表面性状観察装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡部 敏彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994147101
Publication number (International publication number)：1995333160
Application date： Jun. 06, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：
【要約】【目的】 安価かつ省スペースであって被検査物の像に歪が生じることがなく簡単に被検査物の表面性状を観察することができるようにした。【構成】 ライトガイド9からの線状光源は、集光レンズ10、ハーフミラー12、平面鏡7を経て被検査面である被検査物11の外周面15に至る。そして外周面15から反射した光は平面鏡7、ハーフミラー12を経て、レンズ13に集光され、一次元イメージセンサ14で結像される。また、撮像部5(撮像レンズ13、一次元イメージセンサ14)、照明部6(ライトガイド9、集光レンズ10、ハーフミラー12)及び平面鏡7を収納するホルダ8が一体となって三次元空間を移動する。さらに、平面鏡7は回動軸15を介して矢印R方向に回動する。
Claim (excerpt)：
回転する被検査物の表面に照明光を投射する照明装置と、該照明装置からの投射光を受光して前記被検査物の表面性状を撮像する撮像装置とを備えた被検査物の表面性状観察装置において、前記照明装置からの照明光を反射させて前記照明光を被検査物に投射する回動可能な反射鏡を有すると共に、前記反射鏡と前記照明装置と前記撮像装置とを同一光軸上に配して三次元空間を移動自在とする複合移動機構を備えていることを特徴とする被検査物の表面性状観察装置。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, H04N 7/18
Cited by examiner (6)
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