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J-GLOBAL ID：200903098130561506
光学測定装置および光学測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997350802
Publication number (International publication number)：1999183147
Application date： Dec. 19, 1997
Publication date： Jul. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】 簡単な構成で容易に的確な光学的測定を行うことができる測定装置を提供する。【解決手段】 ステージ上の試料に照明光を照射し、試料からの反射光を受光部にて受光して画像70を取得し、画像70に基づいて各種光学的測定を行う測定装置において、視野絞りの位置に遮光部材を設けて画像70の四隅に遮光パターン71a〜71dが現れるようにする。また、遮光パターンの境界に評価領域73a〜73dを設定し、試料と受光部との距離を微小量ずつ変化させながら評価領域のコントラストの度合いであるフォーカス評価値の算出を繰り返し行う。これにより、各評価領域が合焦位置に到達するときのステージの位置を求めることができ、試料の傾きを求めることができる。その結果、簡単な構成で容易に的確な光学的測定を行うことが可能となる。
Claim (excerpt)：
測定対象である試料に対して光学的な測定を行う光学測定装置であって、照明光を前記試料に至る光路へと出射する発光手段と、前記試料からの反射光を受光して前記試料の画像を取得する受光手段と、前記試料からの反射光を前記受光手段へと導く結像光学系と、前記受光手段に対して光学的に共役な合焦位置と前記試料との距離を相対的に変更する手段と、前記画像中の同一直線上には並ばない3以上の評価領域のそれぞれにおけるフォーカス評価値を求める評価値算出手段と、前記フォーカス評価値から前記試料の傾きを求める姿勢算出手段と、を備えることを特徴とする光学測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/26 H
, G01B 11/00 H
