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J-GLOBAL ID：200903098154272653

画像抽出装置および方法、並びにそれらを有する露光装置および方法

Inventor：
宮下 朋之

About 宮下 朋之


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (2)： 伊東 哲也 ,  齋藤 和則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005084298
Publication number (International publication number)：2006269651
Application date： Mar. 23, 2005
Publication date： Oct. 05, 2006
Summary：
【課題】 検出すべき部分画像の類似度を高くしつつ、誤り領域の部分画像の類似度を低くするような内積に基づく類似度の高い部分画像を所定数抽出する。【解決手段】 ベクトル形式で表現されたテンプレートデータを要素とするテンプレートベクトルとベクトル形式で表現された部分画像の特徴データを要素とする部分画像特徴ベクトルとの内積に基づく類似度の高い複数個の部分画像を抽出するために、前記テンプレートベクトルの要素値と前記部分画像の特徴ベクトルの要素値との計量テンソルに基づく内積値を部分画像毎に算出する部分画像毎算出手段と、前記部分画像毎算出手段の内積値のn乗(nは1以上の整数)に基づく類似度を算出する類似度算出手段と、前記類似度に基づき部分画像を抽出する部分画像抽出手段とを有する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
ベクトル形式で表現されたテンプレートデータであるテンプレートベクトルとベクトル形式で表現された部分画像の特徴データである部分画像の特徴ベクトルとの内積に基づきテンプレートと類似度の高い複数個の部分画像を抽出する画像抽出装置において、 前記テンプレートベクトルの要素値と前記部分画像の特徴ベクトルの要素値との計量テンソルに基づく内積値を部分画像毎に算出する部分画像毎算出手段と、 前記部分画像毎算出手段の内積値のn乗(nは1以上の整数)に基づく類似度を算出する類似度算出手段と、 前記類似度に基づき部分画像を抽出する部分画像抽出手段と を有することを特徴とする画像抽出装置。
IPC (4)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  G06T 1/00 ,  G06T 7/00
FI (4)：
H01L21/30 525W ,  G03F9/00 H ,  G06T1/00 305B ,  G06T7/00 300E
F-Term (16)：
5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB18 ,  5B057CC02 ,  5B057CD01 ,  5B057DA01 ,  5B057DA06 ,  5B057DA12 ,  5F046FC04 ,  5L096BA03 ,  5L096DA02 ,  5L096EA11 ,  5L096HA08 ,  5L096JA05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 画像処理方法及び装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-267908   Applicant：キヤノン株式会社

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