Pat

J-GLOBAL ID：200903098154981948

(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法

Inventor： 曽根 篤
Applicant, Patent owner： 日本ゼオン株式会社
Agent (1)： 西川 繁明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997220817
Publication number (International publication number)：1999049806
Application date： Aug. 01, 1997
Publication date： Feb. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】 化学増幅型レジスト材料として好適な(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法を提供すること。【解決手段】 エステル部分にアダマンタン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル(a)と、エステル部分にラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル(b)とを、有機溶媒中、重合開始剤を用いて共重合する(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法であって、純度が95%以上の(メタ)アクリル酸エステル(a)及び(メタ)アクリル酸エステル(b)を使用し、(メタ)アクリル酸エステル(a)と(メタ)アクリル酸エステル(b)との仕込みモル比を30:70〜70:30の範囲内とし、酸素を除去した不活性ガス雰囲気下または真空下で、(メタ)アクリル酸エステル(a)と(メタ)アクリル酸エステル(b)と重合開始剤とを含有する有機溶媒溶液を攪拌しながら重合反応させる(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法。

Claim (excerpt)：

下記式(a)【化1】(式中、R1は、水素原子またはメチル基であり、R2は、炭素原子数1〜4のアルキル基である。)で表されるエステル部分にアダマンタン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステルと、下記式(b)【化2】(式中、R3は、水素原子またはメチル基であり、R4は、炭素原子数1〜4のアルキル基である。)で表されるエステル部分にラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステルとを、有機溶媒中、重合開始剤を用いて共重合する(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法であって、(1)純度が95%以上の(メタ)アクリル酸エステル(a)及び(メタ)アクリル酸エステル(b)を使用し、(2)(メタ)アクリル酸エステル(a)と(メタ)アクリル酸エステル(b)との仕込みモル比を30:70〜70:30の範囲内とし、(3)不活性ガス雰囲気下または真空下で、(4)(メタ)アクリル酸エステル(a)と(メタ)アクリル酸エステル(b)と重合開始剤とを含有する有機溶媒溶液を攪拌しながら重合反応させる(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造方法。

IPC (3)：

C08F 2/06 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28

FI (3)：

C08F 2/06 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28