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J-GLOBAL ID：200903098155991319

金属酸化物膜の製造方法、および積層体

Inventor：
小堀 裕之

About 小堀 裕之

, 
山崎 昌保

About 山崎 昌保

, 
野村 圭介

About 野村 圭介


Applicant, Patent owner：
大日本印刷株式会社

About 大日本印刷株式会社


Agent (2)： 山下 昭彦 ,  岸本 達人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007095165
Publication number (International publication number)：2008105923
Application date： Mar. 30, 2007
Publication date： May. 08, 2008
Summary：
【課題】本発明は結晶性や結晶構造の結晶状態が、段階的または連続的に変化した金属酸化物膜を、簡便な方法により得ることができる金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。【解決手段】本発明は、同一の金属元素および異なる非金属部を有する2種類以上の金属源を用い、上記2種類以上の金属源の金属源モル分率が異なる金属酸化物膜形成用溶液を、上記金属源モル分率を変化させつつ、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基材に接触させることにより、上記基材上に、結晶状態が変化した金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
同一の金属元素および異なる非金属部を有する2種類以上の金属源を用い、前記2種類以上の金属源の金属源モル分率が異なる金属酸化物膜形成用溶液を、前記金属源モル分率を変化させつつ、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基材に接触させることにより、前記基材上に、結晶状態が変化した金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。
IPC (11)：
C01B 13/34 ,  C01G 25/02 ,  C01G 51/04 ,  C01G 53/04 ,  C01G 19/02 ,  C01G 19/00 ,  C01G 9/02 ,  C01F 17/00 ,  C01G 23/04 ,  C03C 17/25 ,  C01G 49/02
FI (12)：
C01B13/34 ,  C01G25/02 ,  C01G51/04 ,  C01G53/04 ,  C01G19/02 C ,  C01G19/00 A ,  C01G9/02 A ,  C01F17/00 A ,  C01G23/04 C ,  C03C17/25 A ,  C03C17/25 Z ,  C01G49/02 Z
F-Term (42)：
4G002AA01 ,  4G002AB02 ,  4G002AD04 ,  4G042DA01 ,  4G042DA02 ,  4G042DB08 ,  4G042DB15 ,  4G042DC01 ,  4G042DC03 ,  4G042DD02 ,  4G042DD08 ,  4G042DE04 ,  4G042DE06 ,  4G042DE08 ,  4G042DE14 ,  4G047AA02 ,  4G047AB02 ,  4G047AD02 ,  4G047CA02 ,  4G047CB05 ,  4G047CD02 ,  4G048AA02 ,  4G048AA03 ,  4G048AB02 ,  4G048AD02 ,  4G048AE07 ,  4G048AE08 ,  4G059AA01 ,  4G059AC12 ,  4G059AC30 ,  4G059EA01 ,  4G059EA02 ,  4G059EA03 ,  4G059EA04 ,  4G059EA05 ,  4G059EA18 ,  4G059EB06 ,  4G076AA02 ,  4G076AB04 ,  4G076AB12 ,  4G076BA11 ,  4G076CA10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (9)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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