Pat

J-GLOBAL ID：200903098183763070

走査電子顕微鏡等における試料撮影装置

Inventor： 富澤 淳一郎 ,  小笹 進
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992125802
Publication number (International publication number)：1993325861
Application date： May. 19, 1992
Publication date： Dec. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】調整用に適したコントラストのある視野を選択でき、正確に焦点や非点収差の補正ができることを目的とする。【構成】電磁的に視野を移動できるコイルを備え、視野位置を記憶できる構成の走査電子顕微鏡における撮影装置。【効果】調整用視野を、決められた範囲内で任意に選択できるので、調整に対する操作性が向上し、正確に調整された電子ビームの汚染のない部分の撮影が可能となる。

Claim (excerpt)：

電子ビームを試料上に細く集束させて、照射するための集束レンズ系を備えた走査電子顕微鏡等において、電子ビーム通路近傍に配置される視野移動用電磁コイルと、試料より発生する情報を検出する手段と、その検出信号に基づき、顕微鏡像として写真撮影する手段と、前記各々を制御し、条件を記憶できる手段とを備えた装置において、電子ビームによる試料の汚染部分の撮影を避けるため、電磁的視野移動を中心より正方向または負方向のみに制限し、範囲A内で任意の撮影視野位置を記憶することができ、その後、電磁的視野移動の正負を反転し、範囲B内の任意の位置で焦点合わせが行なえ、焦点合わせ等を終了した後、前記撮影視野位置を呼び出して撮影することを特徴とした走査電子顕微鏡等における試料撮影装置。

IPC (2)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/28