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J-GLOBAL ID：200903098218545969

チタン酸系強誘電体膜形成用組成物と形成法

Inventor： 小木 勝実 ,  内田 寛人 ,  曽山 信幸 ,  善 英喜
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 広瀬 章一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993181482
Publication number (International publication number)：1995037422
Application date： Jul. 22, 1993
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 有機金属化合物を原料とするゾル-ゲル法によるチタン酸系強誘電体膜の形成において、塗布液の安定性を高め、同時に成膜後の加熱焼成時には酸化物への転化を促進し、均質で緻密な強誘電体膜を得る。【構成】 一般式:ATiO3(A=Ba、Sr、Ca、Mg、Pb) またはBi4Ti3O12 型の複合酸化物からなるチタン酸系強誘電体膜の形成用組成物であって、各成分金属の原料有機化合物を目的とする複合酸化物の組成に相当する割合で有機溶媒中に含有し、さらに安定化剤 (例、β-ジケトン) と酸化剤 (例、過酸化水素) とを含有する塗布液を使用する。

Claim (excerpt)：

有機金属化合物を原料とするゾル-ゲル法により、一般式:Ax Tiy Oz(式中、A成分はBa、Sr、Ca、MgおよびPbから選ばれた1もしくは2以上の金属であるか、またはBiであり、A成分がBiである時はx=4、y=3、z=12であり、A成分がBi以外の金属である時はx=y=1,z=3である) で示される複合酸化物からなるチタン酸系強誘電体膜を形成するための組成物であって、各成分金属の原料有機化合物を目的とする複合酸化物の組成に相当する割合で有機溶媒中に含有し、さらに安定化剤と酸化剤とを含有することを特徴とする、チタン酸系強誘電体膜形成用組成物。

IPC (3)：

H01B 3/00 ,  C04B 35/46 ,  C30B 29/32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭64-052074
  
• 特開昭63-252301
  
• 特開平3-083816