Pat

J-GLOBAL ID：200903098222322435

ワークの洗浄及び乾燥方法とその装置

Inventor： 柴 垣 喜 造
Applicant, Patent owner： 三協エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 林 宏 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993204783
Publication number (International publication number)：1995045574
Application date： Jul. 27, 1993
Publication date： Feb. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 単一の処理槽を使用して、水分の凍結やシミの付着等を生じることなくワークの洗浄と真空乾燥とを確実且つ迅速に行う。【構成】 洗浄槽と乾燥槽とを兼ねる密閉式の処理槽2の内部に、多孔性バレル6を駆動回転自在に配設し、該バレル内にワーク1を収容して、処理槽2内を減圧した状態でバレル6を回転させながら洗浄液によりワーク1を洗浄したあと、バレル6の回転によるスピン乾燥と、減圧による真空乾燥とを経時的に行うことにより、ワーク1を乾燥させる。

Claim (excerpt)：

洗浄槽と乾燥槽とを兼ねる密閉式処理槽の中の、駆動回転自在に配設された多孔性バレル内にワークを収容する工程;処理槽内を減圧すると共に、バレルを所要の速度で回転させながら、該処理槽内に洗浄液を供給することによりワークを洗浄する工程;処理槽内を大気圧に戻して洗浄液を排出する工程;バレルを所要の速度で回転させてワークをスピン乾燥させる工程;バレルを所要の速度で回転させながら処理槽内を減圧することにより、ワークを真空乾燥させる工程;処理槽内を大気圧に戻してワークを取り出す工程;を有することを特徴とするワークの洗浄及び乾燥方法。

IPC (3)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 351