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J-GLOBAL ID：200903098228927428

静電チャック

Inventor： 佐藤 政喜 ,  三嶋 和彦
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000368469
Publication number (International publication number)：2002170871
Application date： Dec. 04, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】吸着特性を低下させることなく被吸着物の離脱性に優れ、かつパーティクルの発生の少ない静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャック1を構成する誘電体層2の上面に凹部2aを形成し、この凹部2a中に導電性セラミックスからなる嵌合部材7を接合し、誘電体層2の上面と嵌合部材7の上面を被吸着物Wの設置面3とし、この設置面3の平面度を5μm以下とする。

Claim (excerpt)：

絶縁性セラミックスからなる誘電体層の上面に凹部を形成し、該凹部中に、体積固有抵抗値が10Ω・cm以下の導電性セラミックスからなる嵌合部材を接合して上記凹部を埋め、上記誘電体層の上面と上記嵌合部材の上面とで形成される平面を、被吸着物を載せる設置面とし、該設置面の平面度を5μm以下とするとともに、上記誘電体層の下面に静電吸着用電極を形成したことを特徴とする静電チャック。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  C04B 35/10 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/458 ,  B23Q 3/15

FI (5)：

H01L 21/68 R ,  C23C 14/50 A ,  C23C 16/458 ,  B23Q 3/15 D ,  C04B 35/10 Z

F-Term (17)：

3C016GA10 ,  4G030AA16 ,  4G030AA36 ,  4G030AA45 ,  4G030BA02 ,  4G030GA29 ,  4G030GA32 ,  4K029JA05 ,  4K030GA02 ,  4K030KA46 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA17 ,  5F031HA19 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32