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J-GLOBAL ID：200903098235687750

ウエハー載置方法および載置装置

Inventor： 稲田 安雄 ,  福島 政法
Applicant, Patent owner： 不二越機械工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992154350
Publication number (International publication number)：1993318310
Application date： May. 21, 1992
Publication date： Dec. 03, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 ウエハーを研磨プレートのテンプレート内に、人手を煩わさず自動的に、しかもきわめて正確に載置する方法と装置を提供する【構成】 第1の発明の方法では、研磨プレート1上に設けられたテンプレート3内に、半導体ウエハー7を載置して研磨するにあたり、半導体ウエハー7をテンプレート3の中央に正しく載置するため、それぞれの位置を数値解析して微調整し、第2の発明の装置では、半導体ウエハー7を、研磨プレート1上に設けたテンプレート3内に載置するウエハー載置装置において、研磨プレート1を保持して回転するインデックステーブル2、ウエハー7を吸着して水平、垂直方向に移動し、テンプレート3内にウエハー7を載置するウエハー搬送アーム5および前記ウエハー7を載置するテンプレート3の上方に設けた画像処理装置を具備する。

Claim (excerpt)：

研磨プレート上に設けられたテンプレート内に半導体ウエハーを載置して研磨するにあたり、半導体ウエハーをテンプレートの中央に正しく載置するため、それぞれの位置を数値解析して微調整することを特徴とするウエハー載置方法。

IPC (3)：

B24B 37/04 ,  B24B 41/06 ,  H01L 21/304 321

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-138933
  
• 特開昭63-144956
  
• 特開昭62-123509
  
• 特開平2-290040