Pat

J-GLOBAL ID：200903098248235328

アライメントマーク検出装置

Inventor： 大塚 英夫 ,  木村 栄雄 ,  藤田 良久
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996175003
Publication number (International publication number)：1998022201
Application date： Jul. 04, 1996
Publication date： Jan. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】 アライメントマークを確実かつ短時間に検出することができるアライメントマーク検出装置を提供する。【解決手段】 試料上の一定領域ごとに順次アライメントマークの検索を行い、アライメントマークが存在する領域を認識するための撮像装置1と、認識されたアライメントマークの存在領域を記憶する記憶装置2とを備え、記憶されたアライメントマークの存在領域のデータに基づいて検索領域を変更する。

Claim (excerpt)：

試料上の一定領域ごとに順次アライメントマークの検索を行い、アライメントマークが存在する領域を認識する検索手段と、前記検索手段により認識されたアライメントマークの存在領域を記憶する記憶手段と、記憶された前記アライメントマークの存在領域のデータに基づいて前記検索手段による検索領域を変更する制御手段とを備えることを特徴とするアライメントマーク検出装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (3)：

H01L 21/30 525 E ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 W