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J-GLOBAL ID：200903098269267106

無水イタコン酸ポリマーおよびそれを含むフォトレジスト組成物

Inventor： ジョージ・ジー・バークレー ,  ピーター・トレフォナス・サード ,  ミッチェル・ジェイ・モナガン
Applicant, Patent owner： シップレーカンパニー エル エル シー
Agent (1)： 佐伯 憲生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999376443
Publication number (International publication number)：2000321773
Application date： Dec. 10, 1999
Publication date： Nov. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、特に、248nmおよび193nmなどの200nm未満のような短波長の照射光で画像を形成できる新しいフォトレジスト組成物であって、高解像度のレリーフ画像、特に0.25μm未満の画像のような、小さな画像を供し得るようなレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】 光活性成分と樹脂を含み、該樹脂が無水イタコン酸単位を含有し、そして、少なくとも実質的にイタコン酸単位を有しない、フォトレジスト組成物、更には、該樹脂が、無水イタコン酸を精製し、そして、該精製した無水イタコン酸を反応させて樹脂を調製することによって得られたものである、フォトレジスト組成物、及び、これらの樹脂に光活性成分を混合して、フォトレジスト組成物を調製する、ことを含む、フォトレジスト組成物の調製方法、並びに、これらのフォトレジスト組成物を用いたレリーフ画像の形成の方法

Claim (excerpt)：

光活性成分と樹脂を含み、該樹脂が無水イタコン酸単位を含有し、そして、少なくとも実質的にイタコン酸単位を有しない、フォトレジスト組成物。

IPC (6)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 2/00 ,  C08F 22/04 ,  C08K 5/00 ,  C08L 35/00 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 2/00 Z ,  C08F 22/04 ,  C08K 5/00 ,  C08L 35/00 ,  H01L 21/30 502 R