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J-GLOBAL ID：200903098274486410

高温に対する耐性を改善するための窒化チタンの処理

Inventor： ケニー キング-タイ ヌガン ,  ロデリック シー. モセリー
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996084597
Publication number (International publication number)：1996330256
Application date： Mar. 13, 1996
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【課題】 化学気相堆積により堆積された窒化チタン層を安定させる方法。【解決手段】 化学気相堆積により堆積された窒化チタン層を、この堆積後に行われるアルミニウムの堆積のための温度に対しても耐え得るように、安定させるための本発明の方法は、約3〜15体積%の酸素を含有した窒素中で窒化チタン膜を加熱処理する工程を有している。処理後の窒化チタン層の上にアルミニウムが堆積された場合も、窒化チタンのバリアの性質は、少なくとも575°Cの温度まで維持される。

Claim (excerpt)：

約400°Cよりも高い温度で安定な、化学気相堆積により堆積された窒化チタン層を形成する方法であって、有機金属チタン化合物から窒化チタン膜を堆積させるステップと、前記膜を、酸素を約3〜15体積%含有する窒素中でアニールするステップとを有する方法。

IPC (3)：

H01L 21/285 301 ,  H01L 21/285 ,  C01B 21/076

FI (3)：

H01L 21/285 301 R ,  H01L 21/285 C ,  C01B 21/076 Z