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J-GLOBAL ID：200903098276082758

レンズの特性評価装置

Inventor： 久保田 重夫 ,  岡 美智雄
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993243094
Publication number (International publication number)：1995140039
Application date： Sep. 29, 1993
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：

【要約】【目的】 レンズ評価に伴って発生する誤差を抑えて正確なレンズ評価を迅速に行うことができるレンズの特性評価装置の提供を目的とする。【構成】 紫外レーザ光源出射部10からの光を収束レンズ11で理想的な点光源にして光検出器16で特性評価用パターンが形成されたウェ ハ14の面からの反射強度を検出してスペクトラムアナライザ17で周波数解析する。

Claim (excerpt)：

露光光源からの光をレンズで透過させ特性評価用パターンに結像させて上記レンズの特性を評価するレンズの特性評価装置において、上記露光光源からの光を集光して点光源にする収束レンズと、上記レンズに対して上記特性評価用パターンを相対的に移動させる移動手段と、該移動手段による移動に伴って走査される上記特性評価用パターンが形成された面からの被測定物を介した反射光強度の変化を検出する検出手段と、該検出手段からの検出結果から周波数解析して光学的な伝達関数を測定する解析手段とを有することを特徴とするレンズの特性評価装置。

IPC (3)：

G01M 11/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭52-063755
  
• 特開平4-313042
  
• レーザ光発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-079351   Applicant：ソニー株式会社