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J-GLOBAL ID：200903098282384260
純水中の不純物測定方法及びその装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
秋本 正実
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993239612
Publication number (International publication number)：1994194298
Application date： Nov. 05, 1984
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：
【要約】【目的】 純水中の微量の可溶性不純物をも高精度に測定する。【構成】 測定対象の純水を霧化し蒸発気化させた後に残る不純物微粒子の数を計数し該計数値から不純物含有量を測定するに当り、霧化し蒸発気化させた後に残る可溶性不純物の微粒子径が、微粒子数の計数が可能な測定限界の大きさになるように調整する。微粒子の大きさを調整しても、径の大きさはばらつき、測定限界値を中心に分布することになる。つまり、約半数の可溶性不純物微粒子は計数することが不可能となる。ここで、可溶性不純物濃度が高まると、全体的に可溶性不純物微粒子径が大きくなり、前記分布の中心は測定限界値より大きくなる方にシフトし、測定にかかる微粒子数が増加する。つまり、計数された微粒子数と不純物含有量とは相関関係を持つ。
Claim (excerpt)：
測定対象の純水を霧化し蒸発気化させた後に残る不純物微粒子から不純物含有量を測定する方法において、前記霧化し蒸発気化させた後に残る可溶性不純物の微粒子径が、微粒子数の計数が可能な測定限界の大きさになるように調整し、残留した不純物微粒子数を計数し、該計数値から純水中の不純物含有量を求めることを特徴とする純水中の不純物測定方法。
IPC (4)：
G01N 15/10
, C02F 1/00
, G01N 1/28
, G01N 31/00
