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J-GLOBAL ID：200903098306415552

位置決め装置

Inventor： 横山 和夫 ,  柴田 元司
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991180791
Publication number (International publication number)：1993026661
Application date： Jul. 22, 1991
Publication date： Feb. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 共振周波数が大きく、機械的安定性の高い走査プローブ顕微鏡およびその応用装置に用いる位置決め装置を提供する。【構成】 探針9を有するプローブヘッド12のハウジング10には3つ鋼球からなる3個の点接触脚11が設けられており、これらをテーブル3上に固定した試料4に直接当接させる。一方、ハウジング10には試料4と平行に配した薄板バネ13が取り付けられており、この薄板バネ13のもう一端は駆動リング15に固定されている。駆動リング15は、基台14上に、X軸駆動ユニット1およびY軸駆動ユニット2を介して取り付けられており、これらにより駆動リング15を動かすことにより、薄板バネを介してプローブヘッドを駆動し位置決めする。

Claim (excerpt)：

プロ-ブを有するプローブヘッドのハウジングと、前記プローブヘッドのハウジングより下方に設けられ平板状試料を固定する面を備えたテーブルとを具備し、前記プローブヘッドのハウジングはその下部に前記テーブル面上の平板状試料に点接触して当接する3個の点接触脚を備えており、且つ、前記プローブヘッドのハウジングは前記平板状試料面と平行に配置された薄板バネを介して前記ハウジングをX、Y方向に移動するための移動手段に連結されてなる平板状試料面を摺動面としてプローブヘッドを試料に対して位置決めするための位置決め装置。

IPC (5)：

G01B 21/30 ,  G01B 7/34 ,  G05D 3/00 ,  G12B 5/00 ,  H01J 37/28