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J-GLOBAL ID：200903098312973745
加圧密封式可搬性コンテナ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
合田 潔 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993158472
Publication number (International publication number)：1994104331
Application date： Jun. 29, 1993
Publication date： Apr. 15, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 内部空間への汚染物質の進入を防止する加圧密封式可搬性コンテナ。【構成】 コンテナ100を構成する箱形カセット容器123はピボットカバー124で気密閉止されるスロット形状のアクセス開口部104を有する。カセット容器の内部空間は適量の加圧超純中性ガスで充填され、このガスはガス注入バルブ手段129を介して圧縮ガス供給設備から供給される。カセット容器はプラスチック等の透明の非汚染材料から作られ、またバーコードタグ148でウェハに付着される識別データを適切なリーダで直接且つ自動的に読み取る。同容器はコンテナの内部空間内を2つの領域に区画するホール付き穴あき内壁を有する。カセット容器はウェハホルダ130を堅固に且つ正確に維持する支持部を有する。ホルダ130は単一ウェハ138を封入するスロット形状の転送開口部132を有する。
Claim (excerpt)：
前方側面に主アクセス開口部(104)を有する箱形ハウジング(102)と、封止可能な内部空間(103)を画定するために上記主アクセス開口部(104)と係合するドア手段(124)と、外側周囲に対して正差圧Δpを有する上記内部空間内に所定の静止した第1の圧力又は公称圧力pを確立するために圧縮超純中性ガス供給設備(700)に接続するのに適した上記ハウジングに挿入されるガス注入バルブ手段(129)と、上記内部空間内に上記工作物を堅固に且つ正確に維持するための支持手段(108)と、から基本的に構成される実質的に平行六面体形状のカセット容器(123)を有する少なくとも1つの工作物(138)を収容するための加圧密封式可搬性コンテナ(100)。
IPC (3)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H05K 5/06
Cited by examiner (6)
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