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J-GLOBAL ID:200903098315889575

感光性誘電体シート組成物および多層相互接続回路

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 高木 千嘉 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993236307
Publication number (International publication number):1994202323
Application date: Sep. 22, 1993
Publication date: Jul. 22, 1994
Summary:
【要約】【目的】 感光性の誘電体シート組成物とこれを用いる多層相互接続回路の製造方法の提供。【構成】 この多層相互接続回路は回路と、また同時にキャパシターとレジスターのような個々の要素をコンパクトな配置中に含んでいる。
Claim (excerpt):
(a) 無機バインダーの微砕粒子と、(b) 場合により、セラミック固体の微砕粒子との混合物からなる組成物であって、前記混合物が(e) 光硬化性モノマー、および(f) 有機溶剤に溶解した(c) アミン含有の有機ポリマーあるいはコポリマー、インターポリマーまたはこれらの混合物からなる有機重合体バインダーであって、各コポリマーまたはインターポリマーは(1)C1〜C10のアルキルアクリレート、C1〜C10のアルキルメタクリレート、スチレン、置換スチレンまたはこれらの組み合わせの非酸性コモノマーと、(2)エチレン系不飽和カルボン酸部分を含む酸性コモノマーとからなり、このコポリマー、インターポリマーまたは混合物は全ポリマー重量の少なくとも15重量%の酸含有量を有し、かつバインダーの重量平均分子量は25,000〜500,000またはこれ以上の範囲内であり、そしてバインダーの平均ガラス転位温度は50°〜100°Cの範囲内であるもの、および(d) 光開始剤を含有する有機媒体に分散されており、かつ前記組成物が活性放射線の像露光で、薄い酸性またはアルカリ性の水溶液中で現像可能である、誘電体シート形成のためのキャスト可能な組成物。
IPC (4):
G03F 7/027 ,  G03F 7/004 501 ,  H05K 1/03 ,  H05K 3/46
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
  • 特開平2-025848
  • 特開平2-025847
  • 特開昭61-158861
Cited by examiner (3)
  • 特開平2-025848
  • 特開平2-025847
  • 特開昭61-158861

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