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J-GLOBAL ID:200903098363642441
表面形状3次元計測装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994008439
Publication number (International publication number):1995218226
Application date: Jan. 28, 1994
Publication date: Aug. 18, 1995
Summary:
【要約】【目的】 コンパクト化が実現できる表面形状3次元計測装置の提供。【構成】 光を放出する光源1 と、一定間隔のピッチからなる格子3 と、格子を通過した光を計測対象物体2 に投影する投影レンズと、計測対象物体表面の縞画像を撮影する撮影レンズと、撮影レンズで撮影した縞画像を入力し計測対象物体の表面形状を演算して求める制御部7 と、を有する表面形状3次元計測装置において、上記両レンズと計測対象物体の間に光を反射するミラー5 を設け、投影レンズと撮影レンズを一体の投影撮影レンズ4 とした。
Claim (excerpt):
光を放出する光源と、一定間隔のピッチからなる格子と、格子を通過した光を計測対象物体に投影する投影レンズと、計測対象物体表面の縞画像を撮影する撮影レンズと、撮影レンズで撮影した縞画像を入力し計測対象物体の表面形状を演算して求める制御部と、を有する表面形状3次元計測装置において、上記両レンズと計測対象物体の間に光を反射するミラーを設け、投影レンズと撮影レンズを一体の投影撮影レンズとしたことを特徴とする表面形状3次元計測装置。
IPC (2):
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