波面収差補正装置及び露光装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003173355
Publication number (International publication number)：2004064069
Application date： Jun. 18, 2003
Publication date： Feb. 26, 2004
Summary：

【課題】ミラーは狭い空間に配置されることが要求されるため、アクチュエータをミラーの背面に取り付けることは光学設計の観点から実際的ではない。【解決手段】ミラーの表面形状を変化させることにより波面収差を補正する波面収差補正装置であって、ミラーの表面形状を変化させるための補正ユニットを複数有し、補正ユニットは、ミラーの側面に配置されたアクチュエータと、ミラーの裏面に接続される力作用部材と、アクチュエータと力作用部材を接続するための力伝達機構と、を有することを特徴とする波面収差補正装置。【選択図】図6

Claim (excerpt)：

ミラーの表面形状を変化させることにより波面収差を補正する波面収差補正装置であって、前記ミラーの表面形状を変化させるための補正ユニットを複数有し、前記補正ユニットはミラーの側面に配置されたアクチュエータと、ミラーの裏面に接続される力作用部材と、前記アクチュエータと前記力作用部材を接続するための力伝達機構と、を有することを特徴とする波面収差補正装置。

IPC (6)：

H01L21/027 , G02B5/10 , G02B7/182 , G02B17/00 , G02B26/06 , G03F7/20

FI (7)：

H01L21/30 531A , G02B5/10 B , G02B17/00 Z , G02B26/06 , G03F7/20 503 , H01L21/30 517 , G02B7/18 Z

F-Term (26)：

2H041AA23 , 2H041AB38 , 2H041AC01 , 2H041AC02 , 2H041AC04 , 2H041AC08 , 2H041AZ01 , 2H041AZ06 , 2H042DD11 , 2H043CD00 , 2H087KA21 , 2H087NA01 , 2H087NA05 , 2H087NA09 , 2H087TA02 , 2H097AA02 , 2H097BA10 , 2H097BB10 , 2H097CA15 , 2H097GB00 , 2H097LA10 , 5F046BA05 , 5F046DA13 , 5F046GA14 , 5F046GB01 , 5F046GC03

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