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J-GLOBAL ID：200903098393276610

マイクロレンズアレイの製造方法および圧子押圧装置

Inventor： 冨田 泰央
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996144402
Publication number (International publication number)：1997323353
Application date： Jun. 06, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 方向性がなく拡散性の良いマイクロレンズアレイを製作することができる製造方法および圧子押圧装置の提供。【解決手段】 金型母材5に各圧痕を形成する際に、圧子1をモータ3により圧子1の押圧方向の軸に関して所定角度回転させてから、ムービングコイル装置2で圧子1を金型母材5の表面に押圧する。その結果、歪方向がばらついた圧痕が金型母材5に形成される。この金型母材5の圧痕形状を光学部材に転写して、透過光の方向性の小さいマイクロレンズアレイが形成される。

Claim (excerpt)：

圧子を型母材の表面に押圧して複数の圧痕を形成し、前記圧痕の形状を光学部材に転写して複数の微小凸曲面を形成するマイクロレンズアレイの製造方法において、前記圧痕を形成する際に、前記圧子の押圧方向の軸に関して前記圧子を所定角度回転させてから前記型母材の表面に押圧する工程を含むことを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。

IPC (4)：

B29C 59/02 ,  B29D 11/00 ,  G02B 3/00 ,  B29L 11:00

FI (3)：

B29C 59/02 B ,  B29D 11/00 ,  G02B 3/00 A