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J-GLOBAL ID:200903098401100607

Z軸トラッカー

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山本 秀策
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2000554312
Publication number (International publication number):2002518093
Application date: Jun. 17, 1999
Publication date: Jun. 25, 2002
Summary:
【要約】対象物表面(12)の位置をトラッキングするための方法は、対象物表面(12)から反射または散乱された一次ビーム(10)および基準ビーム(8)をそれぞれ含む短い時間的コヒーレンス長の光ビーム間の干渉シグナルを発生する工程を包含する。上記基準ビーム(8)の経路中の基準表面(14)は、干渉シグナルが発生する位置付近にてスキャンされ、これによって、この位置は対称物表面(12)の位置を示す。1つの局面において、基準表面(14)の位置は、示す位置におけるスキャニングの範囲内の所定の点を維持するために制御される(16,18)
Claim (excerpt):
対象物表面の位置をトラッキングするための方法であって、該対象物表面から反射または散乱された一次ビームおよび基準ビームをそれぞれ含む短い時間的コヒーレンス長の光ビーム間の干渉シグナルを発生する工程、該干渉シグナルが発生する位置付近の該基準ビームの経路内の基準表面をスキャニングする工程であって、これによって該位置が該対象物表面の該位置を示す工程、および示す位置にて該スキャニングの範囲内に所定の点を維持するために該基準表面の該位置を制御する工程、を包含する、方法。
IPC (2):
A61F 9/007 ,  G01S 17/08
FI (2):
G01S 17/08 ,  A61F 9/00 512
F-Term (16):
5J084AA05 ,  5J084AB07 ,  5J084AD08 ,  5J084BA02 ,  5J084BA23 ,  5J084BA36 ,  5J084BA51 ,  5J084BB14 ,  5J084BB24 ,  5J084BB28 ,  5J084CA24 ,  5J084CA72 ,  5J084DA01 ,  5J084DA07 ,  5J084EA40 ,  5J084FA01

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