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J-GLOBAL ID：200903098408209159

三次元加速度センサユニットとそのユニットをパッケージした三次元加速度センサ

Inventor： 国見 敬
Applicant, Patent owner： 曙ブレーキ工業株式会社
Agent (1)： 長瀬 成城
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993253924
Publication number (International publication number)：1995110341
Application date： Oct. 12, 1993
Publication date： Apr. 25, 1995
Summary：

【要約】【目的】 検出感度が良く、加速度の極性を誤認することが無く、組み立て工数も少なく、構造が簡単な上に、熱による影響の殆どない三次元加速度センサユニットを提案する。【構成】 三次元加速度センサユニットは、作用部11、この作用部の周囲に形成した可撓部12、この可撓部の周囲に形成した固定部13の三つの領域から形成されているシリコン基板2と、前記作用部11に接合した重錘体20と、前記可撓部12に設けた加速度検出用抵抗素子と、前記作用部11の上下方向の移動量を規制するシリコン製の第1の制御基板1と、前記作用部に設けた重錘体20の上下、左右の移動量を規制するシリコン製の第2の制御基板3とよりなり、それぞれの基板1、2、3は金、シリコンの共晶結合によって接合されている。

Claim (excerpt)：

作用部11、この作用部の周囲に形成した可撓部12、この可撓部の周囲に形成した固定部13の三つの領域から形成されているシリコン基板2と、前記作用部11に接合した重錘体20と、前記可撓部12に設けた加速度検出用抵抗素子RX1〜RX4、RY1〜RY4、RZ1〜RZ4と、前記作用部11の上下方向の移動量を規制するシリコン製の第1の制御基板1と、前記作用部に設けた重錘体20の上下、左右方向の移動量を規制するシリコン製の第2の制御基板3とよりなり、それぞれの基板1、2、3は互いに接合されていることを特徴とする三次元加速度センサユニット。

IPC (2)：

G01P 15/12 ,  G01P 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 加速度計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-134808   Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
• 特開平3-276072
  
• 特開平3-276072